深圳证券交易所在今日发出的关注函中表示，因苏大维格在互动易平台对投资者提问的回复涉嫌存在不真实、不准确、不完整情形及误导性陈述，市场影响恶劣，决定对苏大维格及相关违规当事人启动纪律处分程序。
北京清律律师事务所合伙人李斌向记者表示，“视信披违规的程度不同，违规主体可能面临交易所的自律监管措施、纪律处分乃至中国证监会的行政处罚，甚至后续可能面临进一步的民事责任，严重者甚至需承担刑事责任。本次深交所已明确将对苏大维格及相关违规当事人启动纪律处分程序，从以往案例的处理情况来看，深交所采取通报批评或公开谴责的可能性较大。另外，苏大维格此前已收到中国证监会的立案告知书，后续苏大维格也可能面临中国证监会的行政处罚。”
《深圳证券交易所创业板股票上市规则》显示，监管对象违反交易所相关规则及规定或者其所作出的承诺的，交易所可对其实施包括口头警示、书面警示、约见谈话、要求限期改正、要求公开更正、澄清或说明、要求公开致歉、要求限期召开投资者说明会在内的14条自律监管措施。
苏大维格证券部工作人员在接受财联社记者采访时表示，公司向投资者诚恳致歉，并将积极吸取经验教训，进一步完善相关制度和程序，持续学习相关产业政策和文件，努力提升与投资者互动沟通的严谨性与信息传递的完整性，不断提升公司信息披露水平。目前，该事件对公司生产经营暂无影响。
因光刻机“乌龙”事件，苏大维格已处在舆论的风口浪尖近一个月。9月14日下午，苏大维格在投资者平台表示：“公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家的出口；同时，公司向国内相关芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件。”该消息一石激起千层浪，公司股价短时间内蹿升至涨停，亦引来无数投资者关注。
但就在当天晚上，包括财联社在内的多家媒体就苏大维格所售光刻机产品、信披措辞等提出质疑，详情请见（苏大维格光刻机实现突破 ？业内指出“此光刻非彼光刻”！），次日早上，深交所发函关注。
在苏大维格8日晚间的关注函回复中，市场关注的几个要点得到回应。首先，苏大维格目前生产的确实仍是激光直写光刻机，与一般被称为光刻机、用于集成电路生产的掩模光刻机不属于同一技术路线；其次，公司光刻设备目前对外销售的金额仍小，今年上半年占营业收入比重仅2.76% ；另外，在市场关注的新兴光刻机技术路径纳米印压方面，苏大维格表示该技术虽然在成本和处理上具有一定优势，但目前多停留在实验或验证阶段，并称其纳米压印技术“在其他领域的布局尚处于初期阶段，后续研发进展具有较大不确定性”。
与关注函回函一同发布的，还有一则立案告知书，显示因涉嫌信息披露违法违规，根据《中华人民共和国证券法》《中华人民共和国行政处罚法》等法律法规，中国证监会决定对公司立案调查。发布次日，苏大维格股价跌幅达到5.99%，截至12日收盘，苏大维格股价已较9月15日的高点38.88元/股下跌逾36%至24.82元/股。
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